진공용 5축 스테이지
- 고정밀 스테이지
- TOF SIMS 질량 분석기에 적용
- 제어 축 : 5축 (X, Y, Z, Ro, Tilt)
- Load-lock 진공동 : < 1 x 10 -7 Pa
- 제어 : PC제어(RS-485통신)
- : 09:00~18:00(토,일,공휴일 휴무)
- : 1644-0889
- : yeogie@yeogie.com
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