MEMS Thermal Mass 방식, 높은 안정성, 빠른 응답성
(4msec Max), 낮은 압력손실
구경 : 내경5.2φ Hose 삽입식
유체 : Air, N2O, CO₂, N₂,
O₂, Ar
온도 : -5∼+55℃
압력 : -0.08∼+0.5MPa
범위 : 0∼30, 100, 200, 500,
1000 sccm
용도 : 의료, 기계, 화학,
농수산, 음식, 음료,
유리, 담배, 연구,
계측 관련분야 일체
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- : 1644-0889
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