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UHP Low Pressure VCR Type(1/4" 3/8" 1/2" 3/4")

DRA100 시리즈는 초 고순도 반도체 제조용 특수 가스 라인, Bulk Gas Line, 기타 설비 라인 등에 사용하도록 개발된 UHP VCR Type Pressure Reducing Regulator입니다.

★ 반도체 생산 hook-up 라인 등에 사용 가능하도록 내부 표면은 BA 15Ra급 EP 10 Ra, 5Ra급까지 처리하였습니다.
★ 용도에 따라 2-ports, 3-ports 또는 4-ports를 선택, 사용 할 수 있습니다.
★ 입구 압력은 최대 3000psig(210bar)이고 출구압력은 모델에 따라 5psi (0.3bar) ~ 최대 250psig(17bar)까지 사용할 수 있습니다.
★ 용접, 조립, 실험, 세정 등 모든 공정은 100-class와 10-class 크린룸에서 이루어집니다.

★ 사용 중 가스라인의 미세 진동 또는 외부적 요인등으로 인하여 초기 셋팅 값이 미세하게 조금씩 변하는 현상을 완전히 해결한 당사 특허 10-1370537 Push and Lock 조절 손잡이를 적용하여 사용하기에 더욱 편리합니다. 조절 손잡이를 누르면 셋팅값이 변하는 것을 완전히 방지할 수 있고, 손잡이를 앞으로 당기면 자유롭게 원하는 압력으로 다시 셋팅 할 수 있습니다.