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[개요]
반도체 가스공급계의 1.125집적화 시스템에 대응한 디지털 압력계 입니다.
LED가 장착된 제품으로 직접적으로 보고 확인하는데 용이합니다.
표시전용전원이 불필요한 2선식 전송방식과 비교측정출력 및 3선식 전송출력(전류 또는 전압)을 장비한 타입이 있습니다.
실적있는 Co-Ni계 합금 및 SUS316L 센서를 사용하여 신뢰성, 내구성도 뛰어납니다.

[특징]
- 보기 좋은 LED 일체형
- 심플한 2선식 전송방식과 비교측정출력+3선식출력을 갖춘 Type으로 Line Up
- 금속다이어프램 상에 PCVD프로세스에 의해 부작용게이지를 형성하기 때문에 내구성이 뛰어나다.
- SUS316L의 연결부에 직접 Co-Ni계 합금 또는 SUS316L의 고내식압력센서를 용접하는 것에 의해
내식성, 기밀성, 장기안정성, 신뢰성에 뛰어나다.
※ 가스접촉부 재질이 측정하는 기체에 적합한 것인지 확인해주시기 바랍니다.

[출처] 반도체산업용 디지털 압력계 ZT61|작성자 벨로우즈