여기에

전원 200Kw, MAX : 250Kw (단상 3PART)
진공도 저진공 Max. 5 × 10-3 Torr / 고진공 Max. 2 × 10-5 Torr
사용온도 1050 ~ 1200℃ MAX : 1300℃
최대 유효사이즈 (Long Body) 700W × 700H × 1,500D / (Short Body) 700W × 700H × 1,200D
승온시간 공로에서 1시간 내 1000℃ 상승
냉각시간 공로에서 45분 이내(1050~200℃ 이하까지)
온도분포 사용온도 범위 ±7.5℃
냉각시스템 열교환기 3면 장착, Turbo(터보) 냉각 송풍기
가압안전장치 3중 가압 안전 장치 설치 (디지털 센서, 접점식 압력계, 안전변)
에어버블장치 진공로 본체 2중 냉각수 재킷 하부의 침전물 방지 장치 설치
진공필터장치 진공 펌프측으로 이물질 흡입 방지 장치 설치
특허등록 특허 제 10-1179961호 12항목 등록