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아스플로우 레귤레이터는 압력 감소 또는 유지에 적용할 수 있는 정확성과 감성을 갖춘 세트 압력의 우수한 안정성을 특징으로 합니다.
반도체 제조의 벌크 가스, 장비 및 가스 캐비닛, 특수 고순도 가스 라인.
가스가 흐르는 내부 표면은 5Ra 또는 10Ra를 얻도록 처리됩니다.
금속에서 금속으로 된 다이어프램과 차체 씰 사이는 높은 누출 무결성을 보장합니다.

입자 생성 및 끼임 최소화.
100% 헬륨 누출 테스트.
클래스 10 클린룸에서 조립, 주입, 테스트 및 포장된 모든 단계.

권고
아스플로의 조절기는 최대의 안전을 위해 설계되었습니다.
정밀한 제어와 내구성을 확보하기 위해서는 Max 작업압력의 70% 이내에서 활용하는 것이 이상적입니다.