여기에

파티클카운터의 최소 측정 사이즈는 0.1 um 가 한계입니다.

이러한 기술적인 제약을 극복하고자 10 nm 측정 용 신규 제품을 출시하였습니다.
기존 CPC(Condensation Particle Counter) 원리를 사용하여 대기 연구용이 아닌 클린룸 전용으로 개발하였습니다, 기존 대기 연구용 CPC는 클린룸용이 아니기 때문에 Zero Count Level 이 좋을 필요가 없고, 샘플 유량도 1 LPM 이면 충분합니다.
하지만 클린룸에서는 완벽한 Zero count level 이 필수이며 또한 샘플 유량도 높아야 클린룸 측정 규격에 맞출 수 있습니다.

‌AeroTrak 9001은 10nm CPC 이지만 <0.07 ea/cf Zero Count Level 을 구현하였습니다, 또한 샘플유량도 2.83 LPM으로 높습니다.

반도체 제조라인, 공정설비, 부품, 배관, 밸브, Gas Nano Particle 측정 등에 맞춤형으로 개발된 제품입니다.