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대배기량 펌프 SDL Series 2022-02-17 16:51:13
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대배기량 펌프
대형 Wafer, FPD에 대응
조합에 의해 대배기량화 가능 15만 L/min 이상의 요구에도 대응 가능

02
FEATURE
고속 배기에 따른 Tact Time 단축
대기 측 배기 속도 확보에 의한 대형 L/L Chamber의 고속 배기 Tact Time 단축
업체명 케이케이테크 홈페이지 http://www.k-ktech.co.kr
대표전화 031-678-1500 FAX 031-678-1555
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