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개요

ㆍ MAPS-Q6는 평면에서 이동하는 물체의 운동을 측정하는 센서입니다.

ㆍ MAPS-Q6는 물체위의 측정점의 공간 좌표(x, y, z)와 Euler 회전각(θx, θy, θz)를 측정합니다.

ㆍ Roll, Pitch, Yaw 정보를 모두 가지고 있으므로 사용자는 이동물체의 관측점이 3차원 공간에서 어떤 궤적을 그리면서 이동하는지 알 수 있습니다.



MAPS-Q6 응용

ㆍ 스테이지 제어
스테이지 이동면 보다 높은 위치는 Roll과 Pitch 에러에 의한 위치 오차가 매우 큽니다. 높은 위치에 놓인 타겟을 정확하게 제어해야 하는 경우에는 MAPS-Q6를 사용하면 Roll과 pitch 때문에 생기는 Abbe error를 반영한 제어가 가능합니다.

ㆍ 스테이지와 장비의 변형 측정
MAPS-Q6를 변형 측정센서로 활용해 보십시오. 대형 장비의 열변형을 실시간으로 측정해서 제어량을 보정하는데 활용하면 장비의 정확도가 획기적으로 향상될 수 있습니다. 열변형을 줄이기 위해 비싸고 복잡한 온도 제어장치를 사용하지 않아도 충분히 정확한 제어가 가능합니다